主營產(chǎn)品：
實(shí)驗(yàn)室小型涂布機(jī)、超聲波流量計(jì)、 核輻射劑量儀、氣體檢測(cè)儀、磨音測(cè)量儀、大氣壓力計(jì)、水質(zhì)檢測(cè)儀、石油產(chǎn)品、氣象站等科學(xué)實(shí)驗(yàn)儀器
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射頻磁控濺射鍍膜裝置/磁控濺射鍍膜裝置
日期：2025-07-16 21:09
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摘要：
射頻磁控濺射鍍膜裝置/磁控濺射鍍膜裝置 型號(hào)；KY-HRM-1
可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)
1、掌握射頻磁控濺射法制膜的基本原理；
2、了解磁控濺射鍍膜儀的操作過程及使用范圍；
3、磁控濺射法制備金屬膜、半導(dǎo)體膜、化合物膜、介質(zhì)膜等薄膜。
主要技術(shù)參數(shù)
1、濺射鍍膜室：由不銹鋼底與玻璃鐘罩組成；有效尺寸：Φ220×H230mm3；
2、濺射鍍膜室本底真空：≤1Pa；濺射腔極限真空：6×10-1Pa；
3、濺射靶：Φ50mm，濺射靶臺(tái)和濺射靶可調(diào)距離：20～60mm；
4、基片加熱溫度可控范圍：室溫～300℃；
5、射頻源功率：500W，13.56MHz；
6、氣路系統(tǒng)：由兩路轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制（可選配質(zhì)量流量計(jì)）；
7、真空系統(tǒng)：2XZ-4型旋片真空泵，抽氣速率：4L/S，單相220V交流電源供電；
8、對(duì)過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施；
9、供電電源：AC220V，50Hz，整機(jī)功率2KW。
聯(lián)系人：王汝玄
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公司網(wǎng)址：http://www.5117sell.com
QQ：1579845789
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