便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的及標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計。
它主要由電器測量部份（主機(jī)）及四探頭組成，需要時可加配測試架。
為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1～100Ω·cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量誤差不超過±5%，在此范圍內(nèi)達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)二級機(jī)的水平。
2、測試儀結(jié)構(gòu)及原理
測試主機(jī)由主機(jī)板、前面板、后背板及機(jī)箱組成，數(shù)字表、測試電流換檔開關(guān)、電阻率/方阻轉(zhuǎn)換開關(guān)、校準(zhǔn)/測量變換開關(guān)以及電流調(diào)節(jié)電位器均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、保險管及四探針連接插座。機(jī)箱底板上字裝了主機(jī)板。前后面板與主機(jī)板之間的聯(lián)接均采用接插件，便于拆卸維修。
技術(shù)參數(shù)：
測量范圍：
可測方塊電阻： 1～19990Ω/□
當(dāng)被測材料電阻率≥1999Ω·cm數(shù)字表顯示0.00。
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.01mA～1mA分兩檔
0.1mA量程：0.01～1mA 連續(xù)可調(diào)
1mA量程：0.1mA ～1mA連續(xù)可調(diào)
恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%
（1） 直流數(shù)字電壓表
測量范圍：0～199.9mv
靈敏度：100μv
準(zhǔn)確度：0.2%（±2個字）
（2） 供電電源：
AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W
（3） 使用環(huán)境：
相對濕度≤80%
（4） 重量、體積
重量：2.2 公斤
體積：寬210×高100×深240（mm）
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